LCD장비이어 박막증착장비 평택서 생산키로 

일본 알박(ULVAC)이 LCD 장비에 이어, 반도체 공정장비 완제품을 한국에서 생산한다.

한국알박(대표 백충렬)은 모회사인 일본 알박으로부터 기술을 이전 받아 반도체 공정용 핵심장비인 박막증착장비를 한국에서 생산키로 했다고 30일 밝혔다.

박막증착장비(sputter, 스퍼터)는 반도체 전기적 특성을 갖게 하기 위해 웨이퍼(원판) 위에 금속막을 입히는 것이다.

회사 측은 이번 기술 이전을 통해 300㎜(12인치) 반도체 공정용 박막증착장비인 `ENTRON-EX W300'을 올해부터 경기 평택 본사 내에서 생산키로 했다고 설명했다. 2005년 일본에서 출시된 이 장비는 시간당 100장의 웨이퍼를 처리할 수 있는 고성능 장비로, 현재까지 한국시장에 20대 이상 공급됐다.

알박은 그동안 국내법인인 한국알박을 통해 LCD 박막증착장비 완제품을 제조했으며, 특히 올해부터 반도체 장비도 제조하게 됨으로써 반도체ㆍ디스플레이 장비 양 부문 모두를 한국에서 생산하게 됐다.

한국알박 한 관계자는 "올 하반기부터 반도체 공정에서 산화막을 제거하는 건식 세정장비(dry cleaner)인 `RISE300'도 생산키로 하는 등 한국에서 기존 LCD 장비에 이어 반도체 장비 다수를 생산할 계획"이라고 말했다.


[디 지 털 타 임 즈 2007-01-31] 강경래기자 butter@