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한국 ULVAC은 1952년 설립된 일본 ULVAC Inc.을 모회사로 하여 1995년
설립된 한국법인으로 2000년 평택 어연한산 산업단지에 제1공장을 설립한 이래,
지난 20여 년간 진공 장비의 전문 제조 메이커로서 Flat Panel Display,
Semiconductor 그리고 Electronic device 분야의 전 공정 장비 제조 및 판매를
담당해 왔습니다.

2000년도 급속도로 성장하는 글로벌 시장에 발 빠르게 대응하고 신 성장 동력 발굴을 목적으로 한국 내에서도 연구개발을 담당할 ULVAC Research Center Korea, Ltd.가 설립되었고, 한국 내 PVD/CVD 공정용 장비의 양산기술 개발을 중심으로 고객사의 다양한 공정에 대한 Process Solution 제공, 차세대 공정장비의 공동개발 및 CIP 활동을 통해 역량을 키워왔습니다. 이러한 연구개발 부문의 성장으로 2011년, 한국 ULVAC㈜ 의 부설 기업연구소인 한국 초재료연구소 (Korea Institute for Super Materials)가 설립되었습니다.

한국 초재료연구소는 현재 제1연구팀과 제2연구팀으로 구성되어 있으며, 제1연구팀은 Flat Panel Display, Electronic Device 분야의 전 공정 장비 및 Process 개발, 제2연구팀은 Semiconductor FEOL/BEOL 분야의 공정 장비의 개발을 담당하고 있습니다.

Semiconductor Display
Deposition PVD Metal
PVD Hardmask
PVD PcRAM
PVD UBM
CVD Co
PVD Metal
PVD Oxide
PVD TCO
CVD Metal Oxide
Etch Dry Etcher

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