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표면처리

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표면처리

유지비용의 절감과 생산성 향상에 최대의 효과환경친화적 기술을 이용한 Clean 처리

ULVAC은, 청정환경이 요구되는 진공장치의 부품및 재료의 표면처리 서비스를 제공하고 있습니다. 이런 표면처리기술은, 모두 ULVAC이 독자적으로 개발한 노하우입니다. 장치의 유지 비용의 절감과 생산성 향상에 최대의 효과를 발휘할 것 입니다.

ALpica 처리 Wafer Cassette
ALpica® / SUS pica®
진공챔버, 진공챔버내 구성부품의 정밀연마
특징
저방출가스/ 저 Dust / 저경시변화
ALpica·SUSpica는 각각 알루미늄 합금, 스테인레스 강(鋼)의 습식표면처리법으로 ULVAC의 상표등록입니다.
VACAL™ / TUFRAM
VACAL™ / TUFRAM®
알루미늄 , 알루미늄 합금용의 특수산화막
특징
ACAL™ →耐고온 , 耐플라즈마의 저 Dust 막
TUFRAM® →강하고 미끄러짐이 좋은 피막
NEDOX® / NIFGRIP®
NEDOX® / NIFGRIP®
스테인레스, 철, 동, 니켈 용의 특수산화막
특징
NEDOX® →단단함, 저마찰의 막
NIFGRIP®→니켈 피막중에 테프론을 첨가하여, 마치 수지(樹肢)처럼 부드러운 표면을 갖는막
ULTRA Clean Treatment 처리제품
Ultra Clean Treatment
방착판의 표면처리에 새로운 제안
특징
저방출가스/ 저 Dust
증착막의 박리를 억제, 장기간의 Maintenance Cycle을 실현
고객의 요구에 맞춘 최적의 조건
증착중합 Polyimide 처리제품
플리이미드 코팅
내식성, 절연성에 우수한 폴리이미드 막
특징
극저(極低) 방출가스
후막형성이 가능하고 균질성도 양호
불순물이 극히 적고 Pinhole, Blowhole도 적다.

취급회사

ULVAC TECHNO. Ltd.
http://www.ulvac-techno.co.jp

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